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              篤摯儀器(上海)有限公司
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              技術支持

              日本三豐Surftest表面粗糙度測量儀小知識

              更新時間:2020-05-11   點擊次數(shù):4000次

              JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997) 產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–術語、定義及表面紋理參數(shù)
              JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–位相補償濾波器的特征
              JIS B 0633:2001 (ISO 4288:1996) 產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–表面紋理的評價的規(guī)則和程序
              JIS B 0651:2001 (ISO 3274:1996) 產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–接觸(測針式)測量儀的標稱特性。

              接觸式表面粗糙度測量儀的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)

              三豐粗糙度儀測量原理示意圖:

              測針形狀
              理想的測針形狀是圓錐型,為球形
              半徑:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
              圓錐角度:60º, 90º
              在理想表面粗糙度測量中,除特別規(guī)定以外,每個圓
              錐角的角度都是 60º

              靜態(tài)測量力
              測針平均位置的測力:0.75mN
              測力的標稱變化率:0N/m
              標準特性值:測針平均值的靜態(tài)測力

              測針曲率
              標稱半徑μm
              測針在平均位置
              的靜態(tài)測量力
              mN
              靜態(tài)測量力變化的
              公差率
              mN /μm
              20.750.035
              50.75 (4.0)注10.2
              10

              注1 對于特殊結構探測器 (包括一個可更換測頭),在平均位置靜態(tài)測量力的大值為 4.0mN。

              截止波長值與測針半徑之間的關系
              如下表所列,測針半徑rtip 的標準值與對應于截止波長
              標準值的粗糙度截止波長比率之間的關系

              λc
              (mm)
              λs
              (μm)
              λc/λs大rtip
              (μm)
              大取樣間隔
              (μm)
              0.082.53020.5
              0.252.510020.5
              0.82.53002注10.5
              2.583005注21.5
              82530010注25

              注1: 對于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通常可以使用rtip=5μm的測針,
              在測量結果中沒有明顯差別。
              注2: 當截止波長λs為2.5μm或8μm時,與推薦測針針尖半徑的測針(觸針)機械濾波所產(chǎn)生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此,測針的半徑或者形狀上的微小誤差不會影響到測量中參數(shù)的計算。如果需要特殊的截止波長比率,須。

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